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    Park NX20原子力顯微鏡

    簡要描述:Park NX20原子力顯微鏡作為缺陷形貌分析的精密測量儀器,可進行大型樣品精密測量并憑借著高精準的數據準確性,在半導體和超平樣品行業中大受贊揚。

    • 更新時間:2023-10-30
    • 廠商性質:經銷商
    • 訪  問  量: 261

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    詳細介紹

    作為一款缺陷形貌分析的精密測量儀器,其主要目的是對樣品進行缺陷檢測。而儀器所提供的數據不能允許有錯誤的存在。Park NX20原子力顯微鏡,這款高精密的大型樣品原子力顯微鏡,憑借著數據的準確性,在半導體和硬盤行業中大受贊揚。

    全面多樣的分析功能

    Park NX20原子力顯微鏡可快速幫助客戶找到產品失效的原因,并幫助客戶制定出更多具有創意的解決方案。高精密度可為用戶帶來高分辨率數據,讓用戶能夠更加專注于工作。與此同時,非接觸掃描模式讓探針針尖更鋒利、更耐用,無需為頻繁更換探針而耗費大量的時間和金錢。

    FA和研究實驗室提供精確的形貌測量解決方案

    · 對樣品和基片進行表面粗糙度測量

    · 缺陷檢查成像與分析

    · 高分辨率電子掃描模式

    · 三維結構測量的解耦XY掃描系統

    · 低噪聲Z探測器可精確測量原子力顯微鏡表面形貌

    Park NX20特點

     低噪聲XYZ位置傳感器

     自動多點樣品掃描

     掃描頭滑動嵌入式設計

     用于高級掃描模式易插拔擴展槽

     高速24位數字電子控制器

     高速Z軸掃描器,掃描范圍達15 µm

     集成編碼器的XY自動樣品載臺

     操作方便的樣品臺

     同軸高功率光學集成LED照明和CCD系統。

     自動Z軸移動和聚焦系統

    Park NX20技術參數

    掃描器

    Z掃描器

    柔性引導高推動力掃描器

    掃描范圍: 15 µm (可選 30 µm)
    高度信號噪聲等級: 30 pm
    (RMS, at 0.5 kHz帶寬)

    XY掃描器

    閉環控制的柔性引導XY掃描器

    掃描范圍: 100 µm × 100 µm
    (可選 50 µm × 50 µm)

    驅動臺

    Z位移臺行程范圍 : 25 mm (Motorized)
    聚焦樣品臺行程范圍 : 15 mm (Motorized)
    XY位移臺行程范圍 : 200 mm x 200 mm

    樣品架

    樣品尺寸 : 基本配置開放空間 up to 200 mm x 200 mm,厚度 up to 20 mm
    樣品重量 : < 500 g

    光學

    10倍 (0.23 N.A.)超長工作距離鏡頭 (1µm分辨率)
    樣品表面和懸臂的直觀同軸影像
    視野 : 840 × 630 µm (帶10倍物鏡)
    CCD : 100萬像素, 500萬像素 (可選)

    軟件

    SmartScan™

    AFM系統控制和數據采集的專用軟件
    智能模式的快速設置和簡易成像
    手動模式的高級使用和更精密的掃描控制

    XEI

    AFM數據分析軟件

    電子

    集成功能
    4通道數字鎖相放大器
    數據Q控制


    信號處理

    ADC : 18 channels 4 high-speed ADC channels 24-bit ADCs for X, Y and Z scanner position sensor

    DAC : 17 channels 2 high-speed DAC channels 20-bit DACs for X, Y and Z scanner positioning

    Maximum data size : 4096 x 4096 pixels


    連接外部信號
    20個嵌入式輸入/輸出端口
    5個TTL輸出 : EOF, EOL, EOP, 調制和交流偏壓



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